电子级水分为四个级别；I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。标记为：
I级电子级水标记为：EW-I；
Ⅱ级电子级水标记为；EW-Ⅱ；
Ⅲ级电子级水标记为；EW-Ⅲ；
Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ。
电子级水的技术指标应符合表1的规定：
表1 电子级水的技术指标
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级别 指标 |
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
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电阻率
MΩ﹒cm(25℃) |
18以上
(95N时间)
不低于17 |
15
(95N时间)
不低于13 |
12.0
|
0.5
|
|
全硅，最大值，µg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
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>1µm微粒数，最大值，个/mL |
0.01 |
5 |
10 |
500 |
|
细菌个数，最大值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
铜,最大值，µg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
锌，最大值，ug/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
镍，最大值．µg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
钠．最大值，µg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
钾，最大值．ug/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值．ug/L |
l |
l |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值．ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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硫酸根，最大值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
总有机碳，最大值，ug/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
具体标准见：GBT11446 电子级超纯水中国国家标准
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如需详细了解超纯水处理设备，可见：反渗透纯水设备